Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,派瑞林纳米镀膜技术,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
镀膜厚度对派瑞林耐蚀性的影响!
派瑞林真空镀膜用于保护能解决其他材料不能解决的问题,目前其在金属保护上应用较少。采用3D 表面形貌仪对派拉纶镀膜的孔隙率进行了测试,结合静态挂片法、电化学较化曲线和电化学交流阻抗谱研究了pH 值为5 的HCl 溶液中不同厚度的派拉纶真空镀膜对Z30 灰口铸铁的保护作用。结果表明: 随着派拉纶填料质量增加,派拉纶真空镀膜厚度不断增加,派瑞林纳米镀膜,其对金属腐蚀抑制的效果越好; 该镀膜主要通过降低铸铁表面的孔隙率以减少材料表面缺陷,抑制阴极的氧扩散控制来达到保护效果。
电子元件和电路组件的共形涂层必须满足电绝缘和环境防护要求。不断小型化的电子产品对绝缘涂层的性能提出了更高的要求,派瑞林纳米镀膜,部分原因是涂层机械体积与电路功能之间的关系,绝缘性涂层更重要的特点是涂敷的完整性和均匀性,以及它在物理、电气、机械、屏蔽方面的性能。
Parylene【派瑞林】涂层,其性能可以满足电路组件的涂层需要。这些透明的聚合物实际上是高结晶和线性的,具有优异的介电和屏蔽性能,以及化学惰性,而且致密无。